本文系半导体产业纵横(ID:ICVIEWS)编译,内容源自tomshardware。
新园区可能会在2028年投入使用,而不是2030年。
在全球半导体市场竞争激烈的当下,荷兰的光刻机领军企业ASML(阿斯麦)正以令人瞩目的速度加速其业务拓展战略。该企业,其产品在全球极紫外(EUV)光刻机市场的占有率已超过95%,最近公布了一项重要决定,即比原定计划提前两年——即从2030年改为2028年——在荷兰埃因霍温附近的布赖恩波特工业园区(Brainport Industries Campus)启动新设施。这一举措充分体现了ASML对市场需求的精准洞察,同时也隐含了该公司在全球半导体产业布局调整方面的长远战略。
ASML的旗舰产品EUV光刻机在7纳米以下先进制程芯片的生产中扮演着至关重要的角色,其单台售价高达1.5亿美元以上,而2023年的产量仅约为60台。面对台积电、三星、英特尔等业界巨头对3纳米、2纳米制程技术的加速研发,以及全球范围内“芯片本土化”趋势下各国对先进产能的激烈争夺,ASML的设备交货周期已经延长至18至24个月。2022年,英特尔当时的首席执行官帕特·基辛格明确指出,“ASML的产能问题已成为全球芯片生产能力的最大障碍”。这一供需矛盾迫使ASML不得不突破物理空间的限制:目前,其厂房主要位于荷兰埃因霍温市区,由于荷兰人口密度较高,可扩展的空间十分有限。新园区规划面积达35.7万平方米,这一面积相当于50个足球场的大小。该规划预计将新增两万个工作岗位,这无疑是对当前“产能焦虑”问题的一种直接应对。
美国《芯片与科学法案》、欧盟《芯片法案》以及我国,合力促使全球半导体领域的资本投入在2021至2023年间攀升至最高点,累计金额超过4000亿美元。在此背景下,ASML公司作为唯一能够提供High-NA EUV(即高数值孔径极紫外光刻机,适用于3nm以下工艺制程)的企业,成为了各国争相争取的焦点。德国马格德堡的英特尔晶圆厂计划引入20台High-NA EUV设备,而韩国平泽的三星新工厂已预留了30台设备的安装位置。然而,荷兰政府对EUV光刻机的出口实施管制,这使得ASML公司认识到,增加国内生产能力不仅可以满足客户需求,还能有效避免地缘政治风险。正如ASML前首席执行官彼得·温宁克所说:“设备的生产地点,决定了技术影响力的范围。”
重塑半导体制造的“欧洲芯谷”
布赖恩波特工业园区的规划不仅限于厂房的扩建,更是一个集研发、生产、供应链和生活配套设施于一体的“产业生态系统”。ASML公司将其视为“未来半导体制造的创新中心”,并试图模仿硅谷的集聚效应,在荷兰南部构建“欧洲的芯片谷”。

新园区位于埃因霍温机场与A2高速公路的中间地带,紧邻飞利浦的旧厂区(其中飞利浦拥有80%的土地),交通便利,四通八达。园区设计打破了传统工厂的封闭格局:核心建筑群由荷兰著名的建筑事务所Mecanoo负责设计,运用了“模块化”与“绿色能源”相结合的理念,其屋顶配备了太阳能板,外墙还集成了雨水回收系统,预计将实现100%的可再生能源供电。生产区特别规划了达到10万级洁净度的空间,专用于EUV光刻机的总装环节;研发中心配备了全球领先的极紫外光源实验室;同时,物流中心引入了先进的AGV机器人,确保了全天候的自动化作业。尤为引人注目的是,园区内蜿蜒的埃克瑟里特河(Ekkersrijt)将被改造成一条美丽的景观带,将办公区、员工公寓以及休闲设施紧密连接在一起。
ASML的迅速发展得益于荷兰丰厚的科技底蕴——如代尔夫特理工大学在光刻技术领域的深入研究、埃因霍温理工大学半导体材料实验室的贡献,这些机构为其输送了众多优秀人才。在新园区规划的2万个职位中,有60%是研发和工程技术岗位,这些职位的年薪普遍超过了10万欧元。为了吸引全球优秀人才,该园区配备了提供双语教育的学校、国际标准医疗设施以及文化交流平台,并且还精心设计了以“光刻机”为主题的博物馆,旨在展示荷兰ASML公司自1984年起,在漏水棚中诞生首台步进式光刻机的成长历程。这种以“技术朝圣”为特色的氛围营造,正在对荷兰打造“欧洲科技人才集聚地”的形象进行重塑;截至2023年,ASML公司外籍员工的比例已高达45%,其中中国、韩国、美国的工程师们共同构成了一个多元化的文化共同体。
尽管荷兰政府已经投入了1.7亿欧元资金,并将该计划定位为“国家级战略项目”,然而ASML的扩张过程并非一帆风顺。无论是基础设施建设,还是面临法律上的纠纷,从环保问题到供应链的稳定性,每个步骤都充满了挑战。
荷兰正遭遇的两大挑战——电网承载能力和氮氧化物排放——正巧触及了半导体产业的核心问题。EUV光刻机的光源部分需消耗大量电能,每台机器每小时所用的电量堪比五百户家庭一天的用电量。2022年,荷兰电网因可再生能源接入不稳定,已遭遇了37次大规模停电。此外,新园区的用电需求预计将增加,其增量相当于埃因霍温市总用电量的15%。为此,ASML正与荷兰的国家电网携手共建分布式储能设施,同时,该公司也计划将系统与比利时的核能输送网络相连接。
另一项重大难题涉及“氮的储存”。在半导体生产阶段,光刻胶和蚀刻气体中均含有氮化成分。荷兰被认定为欧盟内的“氮敏感区域”,当地实施的环保法律对工业氮排放有着严格的管控。因此,ASML公司不得不投入2亿欧元资金,建造了废气处理设施,并运用了先进的催化还原技术,使得氮氧化物的排放量减少了90%以上。这一案例凸显了欧洲在“绿色制造”与产业竞争力方面存在的深刻冲突——它们必须同时实现《欧洲绿色新政》所设定的减排任务,并保持其在高端制造业领域的国际领先地位。
从“漏水棚”到世界之巅
审视ASML的发展历程,我们发现其每一次的拓展都紧密贴合着产业变革的步伐:在1999年,通过收购美国SVG公司,获得了极紫外技术的专利;2012年,与台积电、三星、英特尔等企业建立战略联盟,确保了研发资金的充足;到了2020年,ASML更是率先实现了High-NA EUV的量产,推动了3nm制程技术的革新。如今,布赖恩波特园区不仅是对过往成就的继承,更是对未来十年的一次大胆押注。
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